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河南粘合剂A在集成电路中的应用
来源:http://henan.fgsm888.com/news716911.html发布时间:2014/11/18 0:00:00
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粘合剂A采用脂肪族材料作为氟化氪(KrF)光敏胶[12'l 3I,在180℃溶液中利用催化剂通过嵌段共聚合作用直接合成。因为粘合剂A可通过普通的光刻显影工艺直接制作绝缘层图形无需刻蚀,整个制造过程非常简单。
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